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8寸晶圆无尘烘箱 联网晶圆专用烘箱 class100超洁净烘箱
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8寸晶圆无尘烘箱 联网晶圆专用烘箱 class100超洁净烘箱

8寸晶圆无尘烘箱联网晶圆专用烘箱class100超洁净烘箱

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蒋女士
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  • 发货地:上海 奉贤区
  • 发货期限:30天内发货
  • 供货总量: 300台

联系方式

  • 联系人:
    蒋女士
  • 电   话:
    𐂏𐂐𐂐𐂎𐂍𐂓𐂎𐂎𐂑𐂐
  • 手   机:
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  • 地   址:
    上海 上海 奉贤区 上海市奉贤区沪杭公路3217号
  • 客   服:
上海 上海 上海 上海 奉贤区 上海市奉贤区沪杭公路3217号 上海旦顺实业有限公司
详细信息
是否进口:否产地:上海加工定制:否
品牌:旦顺型号:COL-2-PC功率:7.5KWW
订货号:COL-2-PC货号:COL-2-PC材质:不锈钢
温度范围:待定℃主要用途:烘烤产品认证:COL-2-PC
是否跨境货源:否

8寸晶圆无尘烘箱 联网晶圆专用烘箱 class100超洁净烘箱详细介绍

8寸晶圆无尘烘箱 联网晶圆专用烘箱 class100超洁净烘箱

无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显影后的坚膜硬烘(Hard baking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。

 

一、无尘烘箱特点:

1. 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2. 采用智能控制系统,可对接MES系统数据采集需求,操作方便;

3.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

4.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避

免烘烤时产生PARTICLE;

5.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门

(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

6. 完善的保护措施,漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器警示,安全可靠!

二、规格尺寸多种可选(也可根据客户尺寸定制)

型号

工作尺寸(mm)

外形尺寸(mm)

功率

COL-2-PC

W600×H600×D500

W950×H1510×D1240

 7.5Kw

COL-3-PC

W600×H900×D500

W950×H1810×D1240

10.5Kw

COL-4-PC

W800×H1000×D600

W1290×H1790×D955

11Kw

COL-5-PC

W1400×H1000×D700

W1950×H1790×D1055

17Kw




 

公司名称:上海旦顺实业有限公司

业务经理:蒋鑫;  手机号:15221744475

24小时服务热线:400-823-8860

公司主页:www.done-e.com

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